Кафедры

• ВМ-1 (высшей математики № 1)
• ВМ-2 (высшей математики № 2)
• ВК (военная кафедра)
• ИБ (информационной безопасности)
  
• ИГД (инженерной графики и дизайна)
• ИнЯз (иностранных языков)
• ИПОВС (информатики и программного обеспечения вычислительных систем)
• ИРГиП (истории России, государства и права)
• ИЭМС (интегральной электроники и микросистем)
• КИТиС (корпоративных информационных технологий и систем)
• КФН (квантовой физики и наноэлектроники)
• МиУП (маркетинга и управления проектами)
• ОФ (общей физики)
• ОФХ (общей и физической химии)
• ПКИМС (проектирования и конструирования интегральных микросхем)
• Права
• Русского языка как иностранного
• ССК (системной среды качества)
• ТКС (телекоммуникационных систем)
• ТМ (технической механики)
• ФСиП (философии, социологии и политологии)
• Физического воспитания
• ЭиМ (экономики и менеджмента)
• ЭТиФ (экономической теории и финансов)
• ЮНЕСКО

Базовые кафедры

• АТО (автоматизации технологического оборудования) — базовая кафедра ОАО «НИИТМ»
• ИТУУТС (информационных технологий и устройств управления в технических системах) — базовая кафедра кафедра ОАО «Инженерный центр по микроэлектронике»
• ИУС (информационно-управляющих систем) — базовая кафедра ЗАО «НТЦ «ЭЛИНС»
• ММ (математического моделирования) — базовая кафедра Института математического моделирования РАН
  
• МНМЭ (материалов нано- и микроэлектроники) — базовая кафедра «НИИ материаловедения»
• МТ (молекулярной технологии) — базовая кафедра ФГУП НИИ ФП им. Ф.В. Лукина
• ОЭПС (опто-электронных приборов и систем) — факультет МПиТК, базовая кафедра ФГУП ГНПРКЦ «ЦСКБ Прогресс — НПП «ОПТЭКС»
• Предпринимательства — базовая кафедра ООО «Международный торговый дом — Зеленоград»
• ПП (промышленного программирования) — базовая кафедра ООО «Си Кью Джи Ай Рус»
• СТС (Субмикронной технологии СБИС)
• Электронные технологии управления и система менеджмента качества — базовая кафедра ОАО «ЦКБ «Дейтон»